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    真空泵機組工藝性

    日期:2018-9-4 16:45:15 人氣:

    真空泵機組工藝性

        真空泵機組渦旋泵動盤和靜盤的嚙合是泵的技術核心,其材料要保證在相對高速運動條件下耐高溫,耐磨損和自潤滑,并具良好加工性。真空泵機組渦旋盤副的加工精度和效率也是很重要的部分,要求用數控專用機床,一次裝卡加工完成,保證線形和精度。由于渦旋盤副的特殊運動關系,材料要經過適當的表面處理,以達到耐高溫,耐磨損和自潤滑德國Leybold公司:德國Leybold公司是世界上最大的真空設備供應商之一,也是最早進入中國市場的國外真空設備廠家之一,近幾年開發研制了渦旋泵,由于時間不長在國內的銷量不大。德國Busch公司:德國Busch公司2001年進入中國大陸,對于中國大陸是一個新公司。Busch公司生產的干式泵有螺桿泵和渦旋泵。渦旋泵是兩級形式,即兩個動、靜渦旋盤。Bucsh的渦旋泵不適合抽水蒸氣,但其產品外型緊湊、美觀,運轉平穩,振動、噪音都較小,且不需要維修,2~3年更換密封件,維護簡單、方便。渦旋泵的年銷售量約幾十臺。英國BOCEdwards公司:英國BOCEdwards公司20世紀90年代開發了渦旋泵。
                   目前有兩代渦旋泵產品。第一代產品由于軸承密封隔離不是很好,不能做到完全無油,故不推薦使用。第二代產品是單級渦旋設計。只有一個軸承,軸承與真空腔隔離,完全無油。并且裝有控制系統,可變頻控制0、50、60、70Hz,故性能較好。產品不需要維修,2~3年更換密封件,維護方便、簡單,具有較強的抽水蒸氣能力。BOC公司的渦旋泵在我國銷量達100臺/年左右。美國Varian公司:美國Varian公司1998年開發了渦旋泵,到目前已有三代渦旋泵產品。第一代產品已基本停產。第二通過技術改進,形成了風格獨特的二級設計:第一級是三渦旋線同時抽氣,可提高抽速,工作在從大氣壓到5.5×104Pa;第二級是單渦旋線,從5.5×104Pa到極限。一、二級同時工作,是真正的(從壓力角度區分的)兩級泵。第三代產品是在第二代產品上增加了控制系統。Varian公司的渦旋泵是其干式泵的主打產品,作為分子泵的前級主泵,不需要維修,2~3年更換密封件,維護方便、簡單,因此在我國銷量達100臺/年以上。

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